SHIMA Kenzou | Hitachi Works, Hitachi Ltd.

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概要

• 同名の論文著者
• Hitachi Works, Hitachi Ltd.の論文著者

関連著者

• Saito K

  Department Of Materials Technology Chiba University

• Suzuki K

  Ntt Transmission Systems Lab. Ibaraki Jpn

• Suzuki Kenji

  Institute For Materials Research Laboratory Tohoku University

• FUKUDA Takuya

  Semiconducter Development Center, Hitachi Ltd.

• SAITO Katsuaki

  Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd.

• OHUE Michio

  Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd.

• SHIMA Kenzou

  Hitachi Works, Hitachi Ltd.

• MOMMA Naohiro

  Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd.

• Ohue Michio

  Hitachi Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Shima Kenzou

  Hitachi Works Hitachi Ltd.

• Momma Naohiro

  Hitachi Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Suzuki K

  横浜国大 大学院工学研究院

• 鈴木 和夫

  横浜大

• Suzuki Katsurmi

  Tamachi Laboratory Superconductivity Research Laboratory Istec

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著作論文

• High-Quality, High-Rate SiO_2 and SiN Films Formed by 400 kHz Bias Electron Cyclotron Resonance-Chemical Vapor Deposition

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