羽根 邦夫 | ソニー超LSI研究所

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概要

• 同名の論文著者
• ソニー超LSI研究所の論文著者

ソニー超LSI研究所 | 論文

• NH_3添加H_2O/TEOSプラズマCVDによる層間絶縁膜形成
• 表面反応を考慮したデポジションのモデル
• 光リソグラフィーにおける反射防止技術
• レジスト膜厚に対する温度、湿度の影響
• 活性化領域に埋め込まれたフローティング・ゲートを有するセルの特性 : メモリー・セルの製法とその電気的特性

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