レジスト膜厚に対する温度、湿度の影響
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概要
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レジスト膜厚の変動要因として温度、湿度が挙げられる。これらの影響について解析を行ない、関係式を導きレジスト膜厚の対数1nhと温度の逆数1, T、および相対湿度をHとしたときの1n(100-H)、または1n(100-H)/Hが直接関係にあることを予想した。そして実験結果と比較し、これらの関係式の確からしさを示した。さらに面内分布については、温度が高くなるほど非ニュートニアン流体の特性であるWeissenberg効果の影響が無視できなくなること、また湿度が高いほど吸湿による温度上昇の影響が現われてくることを述べた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-10-28