大野 守史 | 沖電気工業株式会社超lsi研究開発センタ

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関連著者

• 林 孝尚

  沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部

• 林 孝尚

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• 大野 守史

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  沖電気工業

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  沖電気工業(株)

• 西 謙二

  近畿大工業高専

• 福田 浩一

  沖電気工業株式会社

• 荒川 富行

  沖電気工業株式会社コンポーネント事業部

• 西 謙二

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• 北 明夫

  沖電気工業

• 松本 良一

  プロセス技術センタ

• 北 明夫

  沖電気工業株式会社超lsi研究開発センタ

• 荒川 富行

  超lsi研究開発センタ

• 河津 佳幸

  沖電気工業(株)

• 松本 良一

  沖電気工業(株)

• 河津 佳幸

  沖電気工業(株)プロセス技術センター

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著作論文

• フラッシュメモリセルBBT現象のシミュレーションによる解析と高信頼性セルの開発(ディープサブミクロンMOSトランジスタ技術小特集)
• 高信頼性酸窒化膜形成とフラッシュメモリー及びCMOSFETへの応用

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