杉田 吉充 | 日立半導体事業部
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
杉田 吉充
日立半導体事業部
-
吉中 明
日立半導体事業部
-
青島 孝明
日立半導体事業部
-
田村 誠男
日立中研
-
清水 博文
日立製作所半導体事業部
-
清水 博文
日立半導体事業部
-
野村 正敬
日立中研
-
加藤 照男
日立半導体事業部
著作論文
- 2p-TG-7 Si HomoepitaxyのMisfit Dislocation(IV)
- 8a-Q-2 熱酸化シリコンの積層欠陥のアニールによる消滅
- SOSウェーハの熱処理による破壊
- 30p-U-12 熱酸化後の Si 表面に発生する積層欠陥
- 24p-N-7 気相輸送による結晶成長