吉中 明 | 日立半導体事業部

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概要

• 同名の論文著者
• 日立半導体事業部の論文著者

関連著者

• 杉田 吉充

  日立半導体事業部

• 吉中 明

  日立半導体事業部

• 青島 孝明

  日立半導体事業部

• 清水 博文

  日立製作所半導体事業部

• 清水 博文

  日立半導体事業部

• 加藤 照男

  日立半導体事業部

著作論文

• 8a-Q-2 熱酸化シリコンの積層欠陥のアニールによる消滅
• SOSウェーハの熱処理による破壊
• 30p-U-12 熱酸化後の Si 表面に発生する積層欠陥

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