30p-U-12 熱酸化後の Si 表面に発生する積層欠陥

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1971-09-30

著者

• 杉田 吉充

  日立半導体事業部

• 吉中 明

  日立半導体事業部

• 加藤 照男

  日立半導体事業部

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