8a-Q-2 熱酸化シリコンの積層欠陥のアニールによる消滅

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1976-09-16

著者

• 清水 博文

  日立製作所半導体事業部

• 清水 博文

  日立半導体事業部

• 杉田 吉充

  日立半導体事業部

• 吉中 明

  日立半導体事業部

• 青島 孝明

  日立半導体事業部

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