熊坂 文明 | (株)富士通研究所

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概要

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• (株)富士通研究所の論文著者

関連著者

• 山部 正樹

  (株)富士通研究所

• 熊坂 文明

  (株)富士通研究所

• 射場 義人

  (株)富士通研究所

• 青山 肇

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)超微細sr露光技術研究室(pxl研究室)

• 青山 肇

  富士通研究所 ULSI研究部門

• 熊坂 文明

  富士通研究所 ULSI研究部門

• 射場 義人

  富士通研究所 ULSI研究部門

• 山部 正樹

  富士通研究所 ULSI研究部門

• 青山 肇

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• Aoyama Hajime

  Fujitsu Laboratories Ltd.

• 射場 義久

  (株)富士通研究所

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著作論文

• Ta/SiC X-Ray Mask
• Ta_3Ge吸収体を用いた高精度X線マスク作製技術

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