赤松 潔 | (株)日立製作所

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)日立製作所の論文著者

関連著者

• 赤松 潔

  (株)日立製作所

• 中村 孝雄

  (株)日立製作所

• 桝田 正美

  (株)日立製作所

• 荒川 紀義

  (株)日立製作所

• 河西 敏雄

  埼玉大学工学部

• 渡辺 真

  石巻専修大

• 藤沢 政泰

  (株)日立製作所

• 油井 肇

  (株)日立製作所

• 藤沢 政泰

  (株)日立製作所生産技術研究所

著作論文

• シリコンウエハの鏡面仕上げ(第3報) : 研磨条件のウエハ研磨面温度差への影響
• 半導体シリコンウエハの量産対応両面研磨法 : エッチしたウエハ粗面の平滑化過程を考慮した片面鏡面化技術
• シリコンウエハの鏡面仕上(第4報) : 超音波板厚計測機能をもつ液中両面研磨装置の開発
• シリコンエハの鏡面仕上(第2報) : シリコンエハ研磨面の温度分布と平面度
• シリコンウエハの鏡面仕上(第1報) : ポリシャ表面温度の変化過程について
• シリコンウエハの枚葉式研磨におけるソフトチャッキング技術

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