荒川 紀義 | (株)日立製作所

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)日立製作所の論文著者

関連著者

• 荒川 紀義

  (株)日立製作所

• 落合 雄二

  (株)日立製作所

• 落合 雄二

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 中村 孝雄

  (株)日立製作所

• 田村 利夫

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 桝田 正美

  (株)日立製作所

• 赤松 潔

  (株)日立製作所

著作論文

• 異種材料間の加工段差
• シリコンエハの鏡面仕上(第2報) : シリコンエハ研磨面の温度分布と平面度
• シリコンウエハの鏡面仕上(第1報) : ポリシャ表面温度の変化過程について
• フェライト材のメカノケミカルポリシング(第3報) : 多結晶材及び多結晶積層体への適用
• フェライト材のメカノケミカルポリシング(第2報) : 加工能率, 加工変質層に及ぼす加工条件の影響
• フェライト材の電圧印加複合研磨法 : 電圧印加による能率向上
• フェライト材のメカノケミカルポリシング(第1報) : 加工液, 定盤材質及び加工機構について
• 単結晶フェライトの微細溝形成時におけるバリ生成現象

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