飯田 哲広 | スーパーシリコン研究所

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概要

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関連著者

• 白石 裕

  スーパーシリコン研究所

• 高野 清隆

  スーパーシリコン研究所

• 飯田 哲広

  スーパーシリコン研究所

• 山岸 浩利

  (株)スーパーシリコン研究所

• 蔵本 誠

  スーパーシリコン研究所

• 町田 倫久

  スーパーシリコン研究所

• 高瀬 伸光

  スーパーシリコン研究所

• 松原 順一

  スーパーシリコン研究所

• 白石 裕

  (株)スーパーシリコン研究所第1研究室

• 高野 清隆

  (株)スーパーシリコン研究所第1研究室

• 町田 倫久

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• 蔵本 誠

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• 高瀬 伸光

  (株)スーパーシリコン研究所第1研究室

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著作論文

• 高重量Si単結晶保持部の高温引張試験 : バルク成長I
• CZ法シリコン単結晶引上げ時の電力削減 (特集:あるべき半導体産業資源回生--シリコン関連)
• カスプ磁場印加CZ法による400mmシリコン結晶育成用大型石英ルツボの熱環境予測(バルク成長分科会特集 : シリコン結晶の最近の話題から)
• 大口径400mm結晶の開発

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