高瀬 伸光 | (株)スーパーシリコン研究所第1研究室

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概要

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関連著者

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  (株)スーパーシリコン研究所

• 白石 裕

  スーパーシリコン研究所

• 蔵本 誠

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• 高野 清隆

  スーパーシリコン研究所

• 高瀬 伸光

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• 飯田 哲広

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• 松原 順一

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著作論文

• カスプ磁場印加CZ法による400mmシリコン結晶育成用大型石英ルツボの熱環境予測(バルク成長分科会特集 : シリコン結晶の最近の話題から)
• 大口径400mm結晶の開発

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