石原 直 | Ntt

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概要

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関連著者

• 石原 直

  日本電信電話(株)lsi研究所

• 石原 直

  Ntt

• 鈴木 雅則

  日本電信電話(株)LSI研究所

• 金井 宗統

  日本電信電話(株)LSI研究所

• 割澤 伸一

  東京大学

• 堤 正臣

  東京農工大学

• 豊田 英二郎

  住友重機械工業株式会社量子技術研究所

• 大石 進

  青山学院大学理工学部

• 小鍜治 繁

  機械技術研究所

• 谷 泰弘

  東京大学生産技術研究所

• 宇根 篤〓

  日本電信電話(株)LSI研究所

• 福田 眞

  日本電信電話(株)LSI研究所

• 小俣 冨士夫

  日本電信電話(株)LSI研究所

• 堤 正臣

  東京農工大 大学院

• 福田 眞

  Ntt Lsi研

• 大石 進

  青山学院大

• 石原 直

  東京大学

• 澤野 宏

  東京大学

• 小俣 冨士夫

  日本電信電話(株)境界領域研究所

• 堤 正臣

  東京農工大

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著作論文

• 情報通信技術の展望(第1部 情報流通技術の発展と精密工学)(電子コミュニケーションの発展と精密工学)
• 静圧空気ねじにおける高性能化技術(直動システム用機器にみる高性能化技術)
• 超LSIに挑む : 超小型SORリング「オーロラ」(精密工学の最前線)
• 空気静圧送りねじによる超LSI露光装置の位置決め技術(超精密位置決め技術の現状)
• 論文の書き方(研究の方法)
• SOR 用たて形 X 線ステッパの開発
• セラミック製空気静圧送りねじの開発
• 光ヘテロダイン干渉法による位置計測
• 計測例--X線リソグラフィ-における位置合わせ (光ヘテロダイン干渉計測技術(技術ノ-ト))
• 人工関節の耐用年数を評価するための2軸ピンオンプレート摺動試験法

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