鈴木 雅則 | 日本電信電話(株)LSI研究所

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• 鈴木 雅則

  日本電信電話(株)LSI研究所

• 石原 直

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• 小俣 冨士夫

  日本電信電話(株)境界領域研究所

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著作論文

• SOR 用たて形 X 線ステッパの開発
• 光ヘテロダイン干渉法による位置計測
• 計測例--X線リソグラフィ-における位置合わせ (光ヘテロダイン干渉計測技術(技術ノ-ト))
• 光ヘテロダイン干渉式位置検出法
• 光ヘテロダイン干渉式ギャップ検出法

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