工藤 昭吉 | 三菱電機株式会社高周波光素子事業統括部

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概要

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• 同名の論文著者
• 三菱電機株式会社高周波光素子事業統括部の論文著者

関連著者

• 工藤 昭吉

  三菱電機株式会社高周波光素子事業統括部

• 北野 俊明

  三菱電機株式会社光・マイクロ波デバイス開発研究所

• 和泉 亮

  北陸先端科学技術大学院大学

• 中野 博文

  三菱電機株式会社 高周波光素子事業統括部

• 中野 博文

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 松村 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学

• 増田 淳

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科:(現)産業技術総合研究所

• 工藤 昭吉

  北陸先端科学技術大学院大学

• 松村 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科

• 増田 淳

  北陸先端大

• 芝 哲夫

  三菱電機株式会社

• 増田 淳

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 北野 俊明

  三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所

• 芝 哲夫

  三菱電機株式会社高周波光素子事業統括部

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著作論文

• Cat-CVD SiNx膜の面内均一性向上に関する検討
• 表面洗浄処理がGaAs FETsのデバイス特性に及ぼす影響(化合物半導体デバイスのプロセス技術)

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