亀田 直人 | 産業技術総合研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 産業技術総合研究所の論文著者

関連著者

• 野中 秀彦

  産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門

• 一村 信吾

  産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門

• 中村 健

  産業技術総合研究所

• 亀田 直人

  株式会社 明電舎

• 西口 哲也

  株式会社 明電舎

• 一村 信吾

  産業技術総合研究所

• 一村 信吾

  産業技術総合研

• 一村 信吾

  工業技術院電子技術総合研究所 極阪技術部

• 亀田 直人

  産業技術総合研究所

• 西口 哲也

  産業技術総合研究所

• 野中 秀彦

  産業技術総合研究所

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著作論文

• 1,1,1,3,3,3-ヘキサメチルジシラザン(HMDS)とオゾンによるシリコン酸化膜成長 : 赤外吸収スペクトルによる解析

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