曲 偉峰 | 金沢大学工学部 電気情報工学科
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概要
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鈴見 雅彦
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著作論文
- DoPed oxideによるPoly-Si薄膜への不純物ドーピングと素子への応用
- ガス炎を用いた高温アニールによる多結晶シリコン薄膜の電気的特性及び構造
- Poly-Siの高温アニールによる欠陥密度に対する効果
- Poly-Siの高温アニール効果 : S.G.G
- poly-Siのガス炎高温アニールによるSecondary grain growth