道谷 里美 | 東京精密

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概要

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関連著者

• 土肥 俊郎

  埼玉大学教育学部

• 土肥 俊郎

  埼玉大学 教育学部

• 道谷 里美

  東京精密

• 酒井 謙児

  (株)東京精密

• 稲葉 高男

  東京精密

• 道谷 里美

  (株)東京精密

• 河西 敏雄

  埼玉大学

• 大森 整

  理化学研究所

• 佐藤 学

  (株)東京精密

• TOUZOV M.

  東京精密

• 藤田 隆

  東京精密

• 泉 宏比古

  東京精密

• JEONG Heado

  Pusan National Univ.

• 稲葉 高男

  (株)東京精密

• 沼本 実

  (株)東京精密

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著作論文

• CMP研磨特性の考察 : エアーフロート型ヘッドにおけるウェーハの挙動
• 酸化膜プラナリゼーションシ・ポリシング/CMPの基礎的検討-ダイレクトエアー加圧法とパッドの効果-
• ウェハの保持方法とプラナリゼーションポリシング特性

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