中川 博 | 広島大・先端物質科学研究科

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概要

• 同名の論文著者
• 広島大・先端物質科学研究科の論文著者

関連著者

• 大田 晃生

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 中川 博

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 鳥居 和功

  (株)半導体先端テクノロジーズ

• 鳥居 和功

  日立製作所中央研究所

• 川原 孝昭

  (株)ルネサス テクノロジ、生産本部、ウエハプロセス技術統括部

• 川原 孝昭

  (株)ルネサステクノロジ

• 川原 孝昭

  (株)半導体先端テクノロジーズ

• 大田 晃生

  広島大・先端物質科学研究科

• 中川 博

  広島大・先端物質科学研究科

• 村上 秀樹

  広島大・先端物質科学研究科

• 東 清一郎

  広島大・先端物質科学研究科

• 宮崎 誠一

  広島大・先端物質科学研究科

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著作論文

• 光電子分光分析によるHfAlOx/Si(100)系スタック構造における界面反応評価(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

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