夏秋 信義 | 日立中研
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概要
関連著者
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夏秋 信義
日立中研
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木村 健二
京大工
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万波 通彦
京大工
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徳山 巍
日立中研
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松下 三芳
京大理
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宮尾 正信
日立中研
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田村 誠男
日立中研
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本岡 輝昭
日立中研
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京島 徹
京大理
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京島 徹
シャープ中研
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徳山 巍
筑波大学物理工学系
著作論文
- 30a-K-12 超高濃度Si:Pの物性(II) : 電気的特性
- 31p-P-16 結晶転位における面チャネルイオンの散乱
- 浅い接合のリ-ク電流に与える短時間熱処理の冷却速度の効果 (電子材料・デバイス論文特集)
- イオン打込み法による不純物制御 (電子材料特集号) -- (プロセス技術)
- 2a-R-7 チャネリングによる積層欠陥エネルギーの決定
- Siのパルスレーザーアニール : エピタキシャル成長と不純物固溶 : 招待講演