五十嵐 三武郎 | 東北大学流体科学研究所
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概要
関連著者
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南部 健一
東北大学流体科学研究所
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五十嵐 三武郎
東北大学流体科学研究所
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渡部 安雄
筑波技術短期大学機械工学科
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渡部 安雄
東北大学流体科学研究所
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谷 順二
東北大学流体科学研究所
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前田 学
三菱重工業(株)原動機事業本部 高砂製作所水・エネルギー部 開発グループ
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菅原 拓
東北大学大学院
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前田 学
三菱重工業(株) 高砂研究所 ターボ機械研究推進室
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松田 博和
東北大学大学院
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前田 学
三菱重工業 高砂製作所
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庄子 義一
東北大学流体科学研究所
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横井 哲夫
(株)トーキン
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三田村 直
東北大学大学院
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傅寶 一樹
東北大学大学院
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窪田 治彦
特許庁
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浦野 智秋
セイコー精機(株)
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江野沢 秀樹
セイコー精機(株)
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江野沢 秀樹
セイコー精機(株) 機器製造部
著作論文
- CVD拡散炉内における希薄流のモンテカルロシミュレーション
- 両端開放の管内を落下する物体の電磁加速
- 熱CVD法によるくさび型基板上でのシリコン薄膜の成長
- 噴流の分子数束角分布に関する実験的研究
- ターボ分子ポンプねじ溝の排気性能
- 拡散炉におけるCVD薄膜成長速度の分子論的研究
- 減圧CVD法における薄膜成長速度の分子論的研究 : 2次元水平型反応炉
- スパッタ法における膜成長速度の分子運動論的研究
- 分子線束の角分布に関する研究 : 第2報,円筒形るつぼからの蒸発
- 垂直円板周りの極超音速希薄流
- 平行平板から成るクライオパネルの性能