池田 圭 | ウェーブフロント
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
池田 圭
ウェーブフロント
-
大久保 雅章
阪府大
-
黒木 智之
阪府大
-
山本 俊昭
阪府大
-
中谷 達行
トーヨーエイテック株式会社
-
大久保 雅章
阪府大院工
-
佐藤 岳彦
東北大
-
黒木 智之
阪府大院工
-
山本 俊昭
阪府大院工
-
佐藤 岳彦
東北大・流体研
著作論文
- 312 細管内誘電体バリア放電の数値解析(解析・シミュレーション,大気・水環境保全技術)
- 4034 CFD-ACE+によるプラズマ解析(F-4 フォーラム「産業用プラズマのモデリング」)
- RFプラズマによる半導体製造装置排ガスの分解(CF_4分解の実験と数値シミュレーション)(OS.4 機能性流体と先端融合化)
- 昇華エッチングを考慮したSiCの高温CVDシミュレーション (特集 材料分析・評価技術)