4034 CFD-ACE+によるプラズマ解析(F-4 フォーラム「産業用プラズマのモデリング」)

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概要

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• A computational fluid dynamics (CFD) model considering plasma and radiation was proposed to simulate three-dimensional (3D) ICP equipment consisting of multi-turn spiral coil antenna, coupling an rf (13.56MHz) field through a quartz window into plasma chamber. Since the gas temperature in the chamber can become a few times higher than room temperature for a largescale wafer processing and it has significant effect on the gas density, considering gas temperature is more important at a low gas pressure.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2005-11-17

著者

• 池田 圭

  ウェーブフロント

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