昇華エッチングを考慮したSiCの高温CVDシミュレーション (特集 材料分析・評価技術)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• デンソーの論文

著者

• 池田 圭

  ウェーブフロント

関連論文

• 312 細管内誘電体バリア放電の数値解析(解析・シミュレーション,大気・水環境保全技術)
• 4034 CFD-ACE+によるプラズマ解析(F-4 フォーラム「産業用プラズマのモデリング」)
• RFプラズマによる半導体製造装置排ガスの分解(CF_4分解の実験と数値シミュレーション)(OS.4 機能性流体と先端融合化)
• 昇華エッチングを考慮したSiCの高温CVDシミュレーション (特集 材料分析・評価技術)

スポンサーリンク