田中 慎吾 | 阪府大院

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概要

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関連著者

• 黒木 智之

  阪府大

• 山本 俊昭

  阪府大

• 黒木 智之

  阪府大院工

• 山本 俊昭

  阪府大院工

• 黒木 智之

  大阪府立大学

• 田中 慎吾

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• 大久保 雅章

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• 佐伯 登

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• 池田 圭

  ウェーブフロント

• 大久保 稚章

  阪府大

• 嶺 潤子

  阪府大院

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著作論文

• RFプラズマによる半導体製造装置排ガスの分解(CF_4分解の実験と数値シミュレーション)(OS.4 機能性流体と先端融合化)
• 220 低気圧RFプラズマを用いた半導体製造装置排ガスCF_4の高効率分解技術(OS-5 環境負荷ミニマイズのための熱流体・環境工学の展開(2))
• 1302 誘導結合型 RF 低圧プラズマによる半導体製造装置排ガス分解に及ぼす電源周波数の影響

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