中村 源四郎 | 三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
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概要
関連著者
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中村 源四郎
三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
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服部 亮
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中村 源四郎
三菱電:北伊丹
著作論文
- X線反射干渉解析法による化合物半導体ヘテロ界面、金属半導体界面の分析
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- 3a-TA-1 イオン注入による欠陥の観察
- 4p-L-7 シリコン薄膜の熱的腐蝕II