3a-TA-1 イオン注入による欠陥の観察

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1970-04-01

著者

• 堀江 和夫

  中研

• 中村 源四郎

  三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所

• 行本 善則

  三菱電機LSI研

• 行本 善則

  三菱電機 北伊丹

• 高木 高志

  中研

• 中村 源四郎

  三菱電:北伊丹

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