行本 善則 | 三菱電機 北伊丹

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概要

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• 行本 善則

  三菱電機 北伊丹

• 杉岡 八十一

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• 平野 昭夫

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• 堀江 和夫

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• 中村 源四郎

  三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所

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著作論文

• 5a-B-4 コッセル法による格子定数の精密測定
• 3a-TA-1 イオン注入による欠陥の観察
• 12a-K-2 薄膜によるシリコン基板の歪の検出
• 3p-L-10 水素雰囲気によるSi結晶中の欠陥
• Si-webの成長と欠陥 : 結晶成長

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