杉岡 八十一 | 三菱電機中研

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概要

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  三菱電機北伊丹

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• 坂根 英生

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• 西海 宏

  北伊丹製作所

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著作論文

• GaAs単結晶の不純物濃度分布 : 結晶成長
• Close-Spaced TechniqueによるGaPの気相成長 : 結晶成長
• 3p-G-10 シリコン薄膜の熱酸化
• 3p-L-10 水素雰囲気によるSi結晶中の欠陥
• Si-webの成長と欠陥 : 結晶成長
• シリコン酸化膜におよぼす水の影響 : 半導体(表面)

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