孫 雲華 | 京都大学工学研究科 電子物性工学
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概要
関連著者
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松波 弘之
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
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木本 恒暢
京都大学工学部電気電子工学科
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松波 弘之
京都大学工学部電気電子工学教室
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松波 弘之
京都大学工学部
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木本 恒暢
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
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孫 雲華
京都大学工学研究科 電子物性工学
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木本 恒暢
京都大学工学研究科
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松波 弘之
京都大学工学研究科
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飯田 倫之
京都大学工学研究科 電子物性工学専攻
著作論文
- プラズマ酸化法を用いた高品質シリコン酸化膜の形成
- リモートプラズマ酸化法を用いた極薄シリコン酸化膜の低温形成およびMOSFETゲート絶縁膜への応用
- リモートプラズマ酸化法を用いた極薄シリコン酸化膜の低温形成およびMOSFETゲート絶縁膜への応用