市川 文雄 | 沖電気工業株式会社超lsi研究開発センター

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概要

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関連著者

• 市川 文雄

  沖電気工業株式会社超lsi研究開発センター

• 市川 文雄

  沖電気工業(株)

• 井上 信彦

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 伊野 昌義

  沖電気工業超LSI研究開発センタ

• 田村 浩之

  沖電気工業株式会社超lsi研究開発センター

• 黒木 弘樹

  沖電気工業株式会社超LSI研究開発センター

• 伊野 昌義

  沖電気工業

• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部

著作論文

• 半導体製造ラインにおけるインプロセス工程制御システム( 自動化を支えるインプロセス計測)
• SIMSによる半導体材料の評価
• HFヴェーパクリーニングを前処理として用いた極薄シリコン窒化膜の形成
• SOI技術によりLSIの消費電力を1/3に低減
• 2次イオン質量分析装置による測定 (不純物分布の精密測定(技術ノ-ト))
• Al-Si電極のエレクトロマイグレ-ション

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