SOI技術によりLSIの消費電力を1/3に低減

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概要

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• 　国内外の半導体メーカが，SOI（silicon　on　insulator）技術を採用したLSIの本格的な量産を始めようとしている1）。SOIウエーハの品質が向上したこと，ウエーハの低コスト化の見込みが得られたことが大きい。　SOI技術を使うとトランジスタの負荷容量を大幅に低減できる。その結果，LSIを高速化，低消費電力化できる。

• 日経BP社の論文
• 1999-03-08

著者

• 市川 文雄

  沖電気工業株式会社超lsi研究開発センター

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