王 成凱 | 東京大学大学院光学系研究科マテリアル工学専攻
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概要
関連著者
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鳥海 明
東京大学大学院
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喜多 浩之
東京大学大学院光学系研究科マテリアル工学専攻
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王 成凱
東京大学大学院光学系研究科マテリアル工学専攻
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李 忠賢
東京大学大学院光学系研究科マテリアル工学専攻
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東京大学大学院光学系研究科マテリアル工学専攻
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半導体mirai-産総研asrc:東京大学工学部マテリアル工学科
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東京大学大学院工学系研究科 化学システム工学専攻
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東京大学大学院光学系研究科マテリアル工学専攻:JRS-CREST
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長汐 晃輔
東京大学大学院マテリアル工学専攻
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長汐 晃輔
東京大学大学院光学系研究科マテリアル工学専攻:JRS-CREST
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西村 知紀
東京大学大学院光学系研究科マテリアル工学専攻:JRS-CREST
著作論文
- GeO2/Ge界面反応の理解に基づくGeO2膜物性の劣化現象の制御 (シリコン材料・デバイス)
- GeO_2/Ge界面反応の理解に基づくGeO_2膜物性の劣化現象の制御(ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)