赤坂 泰志 | 東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所の論文著者

関連著者

• 赤坂 泰志

  東京エレクトロン株式会社

• 宮野 清孝

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 宮野 清孝

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 赤坂 泰志

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 中嶋 一明

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 須黒 恭一

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 末広 信太郎

  東芝北九州工場

• 須黒 恭一

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 中嶋 一明

  東芝

• 中嶋 一明

  東芝 セミコンダクター社

著作論文

• W/poly-Si 積層構造による低抵抗ゲート電極(poly-metal ゲート)

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