芹川 正 | 大阪大学接合科学研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 大阪大学接合科学研究所の論文著者

関連著者

• 芹川 正

  大阪大学接合科学研究所

• 松尾 直人

  兵庫県立大学

• 部家 彰

  兵庫県立大学物質系

• 河本 直哉

  山口大学工学部電気電子工学科

• 松尾 直人

  山口大学工学部

• 松尾 直人

  兵庫県立大学大学院工学研究科

• 松尾 直人

  山口大 工

• 河本 直哉

  山口大学大学院理工学研究科

• 河本 直哉

  山口大 工

• 河本 直哉

  山口大学工学部

• 松尾 直人

  兵庫県立大学工学研究科

• 部家 彰

  兵庫県立大学工学研究科

• 部家 彰

  兵庫県立大学大学院工学研究科

• 部家 彰

  兵庫県立大学大学院

• 三浪 大介

  兵庫県立大学工学研究科

• 中村 昌隆

  兵庫県立大学工学研究科

• 芹川 正

  東京大学先端科学技術研究センター

• 部家 彰

  兵庫県立大学 大学院工学研究科

• 松尾 直人

  山口大

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著作論文

• 水素変調ドープa-Si膜のエキシマレーザアニーリング
• a-Si中の水素原子とエキシマ・レーザ結晶化 : 核形成・成長に大きな影響を与えるか?(シリコン関連材料の作製と評価)
• 低温ELAプロセスにおいてa-Si膜中水素が結晶化に与える影響(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術)
• 低温ELAプロセスにおいてa-Si膜中水素が結晶化に与える影響(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術)
• 低温ELAプロセスにおいてa-Si膜中水素が結晶化に与える影響(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術)
• スパッタリング法によるSi膜と高性能多結晶Si薄膜トランジスタ(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
• スパッタリング法によるSi膜と高性能多結晶Si薄膜トランジスタ(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
• Poly-Si TFT特性から観たSi薄膜(TFTの材料・デバイス技術・応用及び一般)
• Poly-Si TFT特性から観たSi薄膜(TFTの材料・デバイス技術・応用及び一般)

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