米原 隆夫 | キャノン(株) デバイス開発本部 Eltran 事業推進センター

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関連著者

• 米原 隆夫

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• 佐藤 信彦

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• 近江 和明

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• 中山 潤

  キャノン(株) デバイス開発本部 ELTRAN 事業推進センター

• 山方 憲二

  キャノン(株) デバイス開発本部 ELTRAN 事業推進センター

• 道関 隆国

  NTTマイクロシステムインテグレーション研究所

• 小舘 淳一

  Nttマイクロシステムインテグレーション研究所

• 束原 恒夫

  NTTマイクロシステムインテグレーション研究所

• 宇賀神 守

  NTTマイクロシステムインテグレーション研究所

• 佐藤 信彦

  キヤノン株式会社

• 岡部 剛士

  キヤノン株式会社

• 近江 和明

  キヤノン株式会社

• 米原 隆夫

  キヤノン株式会社

• 道関 隆国

  Ntt マイクロシステムインテグレーション研

• 坂口 清文

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• 柳田 一隆

  キャノン(株) デバイス開発本部 ELTRAN 事業推進センター

• 柿崎 恵男

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• 道関 隆国

  Ntt

• 宇賀神 守

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著作論文

• 高抵抗SOI基板を用いたCMOS低雑音増幅器の特性向上
• 0.1μm時代の高品質SOIウエハー技術
• 解説 ELTRANの作成工程および装置技術を中心に解説 300mmSOIウェハ生産技術の動向 (特集2 実用化進む最先端半導体製造技術&装置)
• SOI-Epiウエハ「ELTRAN」 (特集 デバイスの高速化、低消費電力化を実現するSOIウェハ)

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