SOI-Epiウエハ「ELTRAN」 (特集 デバイスの高速化、低消費電力化を実現するSOIウェハ)

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概要

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• 工業調査会の論文

著者

• 米原 隆夫

  キャノン(株) デバイス開発本部 Eltran 事業推進センター

• 佐藤 信彦

  キャノン(株) デバイス開発本部 Eltran 事業推進センター

• 中山 潤

  キャノン(株) デバイス開発本部 ELTRAN 事業推進センター

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