吉田 友幸 | (株)豊田中央研究所

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概要

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• 吉田 友幸

  (株)豊田中央研究所

• 渡辺 行彦

  豊田中央研究所

• 光嶋 康一

  (株)豊田中央研究所

• 渡辺 行彦

  (株)豊田中央研究所

• 光嶋 康一

  (株)豊田中央研究所半導体デバイス・センサ研究室

• 副島 成雅

  豊田中研

• 副島 成雅

  (株)豊田中央研究所

• 中嶋 健次

  株式会社豊田中央研究所

• 中嶋 健次

  (株)豊田中央研究所

• 船橋 博文

  (株)豊田中央研究所

• 大脇 健史

  (株)豊田中央研究所

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著作論文

• Al-Si-Cu/Ti/TiN/Ti積層配線の結晶配向性と信頼性に及ぼす下地絶縁膜吸湿の影響
• Bイオン注入によって誘起されるOSFと酸化膜信頼性との関係
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• 電圧ランプ法により求めた破壊電圧からのゲート酸化膜寿命予測
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