中嶋 健次 | 株式会社豊田中央研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 株式会社豊田中央研究所の論文著者

関連著者

• 中嶋 健次

  株式会社豊田中央研究所

• 渡辺 行彦

  豊田中央研究所

• 光嶋 康一

  (株)豊田中央研究所

• 渡辺 行彦

  (株)豊田中央研究所

• 吉田 友幸

  (株)豊田中央研究所

• 中嶋 健次

  (株)豊田中央研究所

• 船橋 博文

  (株)豊田中央研究所

• 光嶋 康一

  (株)豊田中央研究所半導体デバイス・センサ研究室

• 吉田 友幸

  株式会社豊田中央研究所

• 光嶋 康一

  株式会社豊田中央研究所

著作論文

• 異方性ドライエッチングを利用したシリコン中酸素析出物検出技術の開発
• Si中結晶欠陥制御によるゲート酸化膜寿命分布の改善
• Bイオン注入によって誘起されるOSFと酸化膜信頼性との関係
• Bイオン注入によって誘起されるOSFと酸化膜信頼性との関係
• Bイオン注入によって誘起されるOSFと酸化膜信頼性との関係

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