森下 浩文 | 九州工業大学情報工学部
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概要
関連著者
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木村 景一
九州工業大学大学院
著作論文
- CMPにおけるウエハとパッドすきま内スラリー流れの数値解析 : 溝なし,同心円溝,放射状溝での比較(流体工学,流体機械)
- 2621 CMPパッドにおける同心円溝内部のスラリー輸送の詳細数値解析(S44-3 マイクロ・ナノ流れの数値解析,S44 マイクロ・ナノフルイディクス)
- C31 CMPにおけるウェハ及び研磨パッド間のスラリー流れ解析(C3 流体工学3)