青木 倫子 | クラリアントジャパン(株)

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概要

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• クラリアントジャパン(株)の論文著者

関連著者

• 青木 倫子

  クラリアントジャパン(株)

• 尾田 智彦

  広島大学ナノデバイス・システム研究センター

• 舟山 徹

  クラリアントジャパン(株)

• 吉川 公麿

  広島大学:産業総合研究所

• 舟山 徹

  東燃(株)総合研究所

• 礒田 武志

  東燃(株)総合研究所

• 青木 倫子

  東燃(株)セラミックス事業室

• Kikkawa Takamaro

  Millenium Research For Advanced Information Technology (mirai)-asrc Aist

• 舟山 徹

  東燃(株)総合研究所:(現)クラリアントジャパン(株)lse事業部

• 向川 政治

  広島大学ナノデバイス・システム研究センター

• 吉川 公麿

  広島大学

• 吉川 公麿

  広島大学ナノデバイス・システム研究センター

• 田代 裕治

  東燃(株)総合研究所

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著作論文

• 低誘電率層間絶縁膜中のリン添加効果によるCuイオンドリフト抑制効果
• ポリアルミノシラザンの合成とその熱分解
• 低誘電率層間絶縁膜中へのCuイオンドリフトによる絶縁破壊
• 低酸素含有ポリボロシラザンの合成と熱分解

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