尾田 智彦 | 広島大学ナノデバイス・システム研究センター

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概要

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• 同名の論文著者
• 広島大学ナノデバイス・システム研究センターの論文著者

関連著者

• 尾田 智彦

  広島大学ナノデバイス・システム研究センター

• 青木 倫子

  クラリアントジャパン(株)

• 舟山 徹

  クラリアントジャパン(株)

• 吉川 公麿

  広島大学:産業総合研究所

• Kikkawa Takamaro

  Millenium Research For Advanced Information Technology (mirai)-asrc Aist

• 向川 政治

  広島大学ナノデバイス・システム研究センター

• 吉川 公麿

  広島大学

• 吉川 公麿

  広島大学ナノデバイス・システム研究センター

著作論文

• 低誘電率層間絶縁膜中のリン添加効果によるCuイオンドリフト抑制効果
• 低誘電率層間絶縁膜中へのCuイオンドリフトによる絶縁破壊

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