龍頭 啓充 | 京都大学工学研究科附属光・電子理工学教育研究センター
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概要
関連著者
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龍頭 啓充
京都大学工学研究科附属光・電子理工学教育研究センター
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高岡 義寛
京都大学大学院工学研究科附属光・電子理工学教育研究センター
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竹内 光明
京都大学大学院工学研究科附属光・電子理工学教育研究センター
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高岡 義寛
京都大学大学院工学研究科附属イオン工学実験施設
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龍頭 啓充
京都大学大学院工学研究科附属光・電子理工学教育研究センター
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高岡 義寛
京都大学工学部イオン工学実験施設
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向井 寛
京都大学工学研究科附属光・電子理工学教育研究センター
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竹内 光明
京都大学工学研究科附属光・電子理工学教育研究センター
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尾崎 良介
京都大学工学研究科附属光・電子理工学教育研究センター
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濱口 拓也
京都大学大学院工学研究科附属光・電子理工学教育研究センター
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今中 浩輔
京都大学大学院工学研究科附属光・電子理工学教育研究センター
著作論文
- エタノールクラスターイオンビームを用いたシリコン基板の微細加工(シリコン関連材料の作製と評価)
- 多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果 (シリコン材料・デバイス)
- エタノールクラスターイオンビームによるシリコン表面の低損傷・高効率スパッタリング(シリコン関連材料の作製と評価)
- 多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果(シリコン関連材料の作製と評価)
- イオン液体BMIM-PF_6イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質(シリコン関連材料の作製と評価)
- 直鎖炭化水素イオンビームによるシリコン表面照射効果の分子量依存性(シリコン関連材料の作製と評価)