花岡 裕子 | (株)日立製作所 中央研究所
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概要
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花岡 裕子
(株)日立製作所 中央研究所
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- WH酸化技術による低抵抗ゲートMOSデバイスの特性改善
- MNM-3B-2 WSiとLSI配線工程互換プロセスを用いたモノリシック集積化MEMS圧カセンサ(セッション 3B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー2)