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社団法人精密工学会 | 論文
- 曲率連続な双クロソイド/第2クロソイドスプライン補間曲線
- 超磁歪アクチュエータに関する研究(第1報) : 超磁歪材料RFey(R=Tb, Dy)のアクチュエータとしての性能
- 超磁歪アクチュエータに関する研究 : 大出力・超精密位置決め装置の開発
- 高齢者の健康・就労支援(高齢者の健康・就労支援と精密工学)
- 大気圧プラズマCVD法による太陽電池用アモルファスSiの超高速成膜
- 大気圧プラズマCVD法によるエピタキシャルSiの低温かつ高速成長(第1報) : エピタキシャルSi成長条件の検討
- 大気圧以上の高圧力下でのプラズマCDVによるダイヤモンドの高速形成
- 回転電極型大気圧プラズマCVD法による多結晶Siの成膜特性
- 大気圧プラズマCVD法によるSiN_xの成膜特性
- 大気圧プラズマCVDによる超高速形成アモルファスSiを発電層とした薄膜太陽電池の基礎特性
- 空気マイクロメータ測定ゲージの偏心に因る指示誤差を除去する方法
- 半導体製造ラインにおけるインプロセス工程制御システム( 自動化を支えるインプロセス計測)
- 独立駆動二探針STMシステムの構築
- プラスチックレンズとガラスレンズ(最近の光メモリー・光通信と超精密技術)
- 非球面レンズの高精度モールディング成形(形状創成の高精度化)
- 高エネルギーイオンビーム分析装置の開発(1994年度(第14回)精密工学会技術賞)
- 超精密加工システムの最新動向(超精密加工システムの新展開)
- パッチ研削装置の原理とその幾何学的特性 : 任意境界形状を有する底面研削加工法に関する研究 (第1報)
- パッチ研削装置の研削性能 : 任意境界形状を有する底面研削加工法に関する研究 (第2報)
- 計算機補正による数値制御工作機械の加工精度の向上 (第1報) : 幾何誤差補正