拡散方程式に基づく薄膜型半導体ガスセンサの解析--回復時における膜内からのガスの消失挙動
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概要
著者
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島ノ江 憲剛
九州大学大学院総合理工学研究院
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松永 直樹
Faculty Of Engineering Nagasaki University
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松永 直樹
FAIS
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Matsunaga Naoki
Department Of Applied Chemistry And Chemical Engineering Kagoshima University
-
Shimanoe Kengo
Faculty Of Engineering Sciences Kyushu University
-
松永 直樹
鹿児島大学大学院 理工学研究科化学生命・化学工学専攻
-
Matsunaga Naoki
Department Of Chemistry Biotechnology And Chemical Engineering Kagoshima University
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