有機化合物を用いる次世代「有機Cat-CVD」の開発と低温成膜への応用 (特集 半導体プロセス技術のイノベーション)

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概要

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• 工業調査会の論文

著者

• 町田 英明

  トリケミカル研 先端技術探索室

• 下山 紀男

  トリケミカル研究所

• 下山 紀男

  トリケミカル研 先端技術探索室

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