1.5 MPaまで加圧された超流動ヘリウム中におけるシリコン圧力センサーの特性
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概要
著者
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湯山 道也
独立行政法人物質・材料研究機構環境・エネルギー材料領域超耐熱材料センター
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永井 秀雄
Nims
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永井 秀雄
物質・材料研究機構 強磁場研究センター
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湯山 道也
NIMS
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前田 実
ジェック東理社
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小菅 通雄
物質・材料研究機構
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松本 文明
金属材料技術研究所
-
佐藤 明男
物質・材料研究機構強磁場
-
佐藤 明男
物質・材料研究機構 強磁場研究センター
-
前田 実
物質・材料研究機構
-
前田 実
物質・材料研究機構 強磁場研究センター
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小菅 通雄
NIMS
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湯山 道也
物質・材料研究機構
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小菅 通雄
物質・材料研究機構 強磁場研究センター
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松本 文明
NIMS
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松本 文明
物質・材料研究機構
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湯山 道也
物質・材料研究機構 強磁場研究センター
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湯山 道也
物材機構・情報st
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松本 文明
物質・材料研究機構 強磁場研究センター
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佐藤 明男
物質・材料研究機構
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