Two dimensional dopant profiling by scanning tunneling microscopy (小特集 半導体産業で利用される走査プローブ顕微鏡技術)

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• Bolotov Leonid

  Mirai-advanced Semiconductor Research Center (asrc)

• Kanayama Toshihiko

  Mirai-advanced Semiconductor Research Center (asrc)

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